1. ກຳລັງໂຫຼດ
ວາງ crucible quartz ເຄືອບເທິງຕາຕະລາງແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ, ເພີ່ມວັດຖຸດິບຊິລິໂຄນ, ຫຼັງຈາກນັ້ນຕິດຕັ້ງອຸປະກອນຄວາມຮ້ອນ, ອຸປະກອນ insulation ແລະການປົກຫຸ້ມຂອງ furnace, ຍົກຍ້າຍ furnace ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນໃນ furnace ກັບ 0.05-0.1mbar ແລະຮັກສາສູນຍາກາດ. ແນະນໍາ argon ເປັນອາຍແກັສປ້ອງກັນເພື່ອຮັກສາຄວາມກົດດັນໃນ furnace ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວຢູ່ທີ່ປະມານ 400-600mbar.
2. ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ
ໃຊ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ graphite ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນ furnace, ທໍາອິດ evaporate ຄວາມຊຸ່ມ adsorbed ເທິງຫນ້າດິນຂອງພາກສ່ວນ graphite, ຊັ້ນ insulation, silicon ວັດຖຸດິບ, ແລະອື່ນໆ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຄ່ອຍໆຮ້ອນຂຶ້ນເພື່ອເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມຂອງ crucible quartz ບັນລຸປະມານ 1200-1300.℃. ຂະບວນການນີ້ໃຊ້ເວລາ 4-5 ຊົ່ວໂມງ.
3. ການລະລາຍ
ແນະນໍາ argon ເປັນອາຍແກັສປ້ອງກັນເພື່ອຮັກສາຄວາມກົດດັນໃນ furnace ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວຢູ່ທີ່ປະມານ 400-600mbar. ຄ່ອຍໆເພີ່ມພະລັງງານຄວາມຮ້ອນເພື່ອປັບອຸນຫະພູມໃນ crucible ປະມານ 1500℃, ແລະວັດຖຸດິບຊິລິໂຄນເລີ່ມລະລາຍ. ເກັບໄວ້ປະມານ 1500℃ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ melting ໄດ້ຈົນກ່ວາການ melting ໄດ້ສໍາເລັດ. ຂະບວນການນີ້ໃຊ້ເວລາປະມານ 20-22 ຊົ່ວໂມງ.
4. ການເຕີບໂຕຂອງ Crystal
ຫຼັງຈາກວັດຖຸດິບຊິລິຄອນຖືກລະລາຍ, ພະລັງງານຄວາມຮ້ອນຈະຫຼຸດລົງເພື່ອເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມຂອງ crucible ຫຼຸດລົງປະມານ 1420-1440.℃, ຊຶ່ງເປັນຈຸດ melting ຂອງຊິລິໂຄນ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, crucible quartz ຄ່ອຍໆຍ້າຍລົງ, ຫຼືອຸປະກອນ insulation ຄ່ອຍໆເພີ່ມຂຶ້ນ, ດັ່ງນັ້ນ crucible quartz ຄ່ອຍໆອອກຈາກເຂດຄວາມຮ້ອນແລະປະກອບເປັນການແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນກັບສິ່ງອ້ອມຂ້າງ; ໃນເວລາດຽວກັນ, ນ້ໍາແມ່ນຜ່ານແຜ່ນເຮັດຄວາມເຢັນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນອຸນຫະພູມຂອງການລະລາຍຈາກດ້ານລຸ່ມ, ແລະຊິລິໂຄນ crystalline ທໍາອິດຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢູ່ດ້ານລຸ່ມ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວ, ການໂຕ້ຕອບຂອງແຫຼວແຂງສະເຫມີຂະຫນານກັບຍົນແນວນອນຈົນກ່ວາການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນໄດ້ສໍາເລັດ. ຂະບວນການນີ້ໃຊ້ເວລາປະມານ 20-22 ຊົ່ວໂມງ.
5. ການຫົດຕົວ
ຫຼັງຈາກການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນໄດ້ສໍາເລັດ, ເນື່ອງຈາກການ gradient ອຸນຫະພູມຂະຫນາດໃຫຍ່ລະຫວ່າງລຸ່ມແລະເທິງຂອງໄປເຊຍກັນ, ຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນອາດຈະມີຢູ່ໃນ ingot, ງ່າຍທີ່ຈະແຕກອີກເທື່ອຫນຶ່ງໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງ wafer ຊິລິໂຄນແລະການກະກຽມຫມໍ້ໄຟ. . ດັ່ງນັ້ນ, ຫຼັງຈາກການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນໄດ້ສໍາເລັດ, ingot ຊິລິໂຄນໄດ້ຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ຢູ່ໃກ້ກັບຈຸດລະລາຍສໍາລັບ 2-4 ຊົ່ວໂມງເພື່ອເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມຂອງຊິລິໂຄນ ingot ເປັນເອກະພາບແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ.
6. ຄວາມເຢັນ
ຫຼັງຈາກ ingot ຊິລິໂຄນຖືກ annealed ໃນ furnace ໄດ້, ປິດພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ, ຍົກອຸປະກອນ insulation ຄວາມຮ້ອນຫຼືຫຼຸດລົງຢ່າງສົມບູນຂອງ ingot ຊິລິຄອນ, ແລະແນະນໍາການໄຫຼຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງອາຍແກັສ argon ເຂົ້າໄປໃນ furnace ເພື່ອຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງອຸນຫະພູມຂອງ ingot ຊິລິຄອນຢູ່ໃກ້ກັບ. ອຸນຫະພູມຫ້ອງ; ໃນເວລາດຽວກັນ, ຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສໃນ furnace ຄ່ອຍໆເພີ່ມຂຶ້ນຈົນກ່ວາມັນໄປຮອດຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດ. ຂະບວນການນີ້ໃຊ້ເວລາປະມານ 10 ຊົ່ວໂມງ.
ເວລາປະກາດ: ກັນຍາ-20-2024
